1.溫度：CMM的室內(nèi)溫度要求為20℃±2℃，測(cè)量室溫度條件中還有時(shí)間梯度和空間梯度的要求，時(shí)間梯度的要求為每小時(shí)溫度的變化不能超過1℃，空間梯度的要求為左右上下1米的距離溫度差不能超過1℃，每天溫度變化不超過1.5℃。測(cè)量室的空調(diào)要保證一直處于開啟狀態(tài)，并隨時(shí)保證室溫在要求的范圍內(nèi)，除非有超過3天以上CMM處于停用狀態(tài)可以關(guān)閉空調(diào)。空調(diào)的送風(fēng)口和回風(fēng)口要根據(jù)空氣流動(dòng)規(guī)律，送風(fēng)口處空氣不能直接吹向測(cè)量機(jī)，測(cè)量機(jī)也要避免陽(yáng)光直射。
2.濕度：蔡司三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)的室內(nèi)濕度要求為40％～60％RH，過于低的濕度容易受靜電的影響，過高的濕度會(huì)產(chǎn)生漏電或電器元件銹蝕，室內(nèi)可以考慮配加濕器、冷干機(jī)或帶有濕度調(diào)節(jié)功能的空調(diào)，隨時(shí)保證室內(nèi)濕度在要求的范圍內(nèi)。
3.壓縮空氣質(zhì)量：CMM一般采用氣浮軸承，因此需要壓縮空氣，氣壓要求為5bar±0.1bar,空氣質(zhì)量達(dá)到ISO8573標(biāo)準(zhǔn)的要求，除去測(cè)量機(jī)本身配置的精密過濾裝置，還應(yīng)配有前置過濾裝置器。